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AIC多晶硅薄膜的制备与其上HWCVD低温外延生长多晶硅薄膜的研究
序 号
445
论文名称
AIC多晶硅薄膜的制备与其上HWCVD低温外延生长多晶硅薄膜的研究
作者
唐正霞
刊物名称
人工晶体学报
论文类别
EI
发表日期
2013-12-16
论文文件
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